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電子行業對於電子無塵車間的要求

電子行業對於電子無塵車間的要求:無塵車間也叫潔淨廠房、潔淨室、無塵室,電子工廠生產工藝分類眾多,有集成電路生產(分為光掩膜、前道工序、後道工序),平南顯示器生產(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),矽材料 生產(單晶矽、多晶矽),光纖生產,製卡業,表麵貼裝(SMT),分離器件生產(功率一、二、三級管,電容、電阻),整機組裝生產(機頂盒、數字投影儀、電子數碼相機),自控元器件生產(傳感器、執行機構)等。

由於生產工藝種類繁多,對潔淨度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控製的要求也不同,範圍約為0.1~5um;對溫濕度控製的要求相對較 高,如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著潔淨度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。電子行業無塵車間的冷負荷比其他行業的無塵車間大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由於冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業的特點。電子行業生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環保要求。

 

電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求,並且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔淨度要求高:

1.電子製造廠萬級潔淨室內的噪聲級(空態):不應大於65dB(A)。

2.電子製造廠潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa。

3.電子製造行業萬級潔淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。

4.電子製造廠潔淨室垂直流潔淨室滿布比不應小於60%,水平單向流潔淨室不應小於40%,否則就是局部單向流了。

5.保證供給潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。

6.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

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